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SiC籽晶粘接
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? 籽晶的粘接工藝技術(shù)是將SiC籽晶通過有機(jī)膠粘接在石墨紙上，提高籽晶粘接質(zhì)量是保證高品質(zhì)SiC晶體生長的首要前提。
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